To One气浮隔震光学平台-广州至一科技有限公司


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To One气浮隔振光学平台(科研级)

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

名称:To One气浮隔震光学平台
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To One气浮隔震光学平台


To One气浮隔震光学平台.png

 

 

ZI-QF 科研气浮隔振光学平台(科研级)

应用领域: 

适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用

 

产品特点: 

公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。 

优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。 

自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国 FESTO 产品,标配进口无油压缩机。 

台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为 1cr17 优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果, 面板具有M6螺纹孔阵列,易于固定光学元件。 

隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。 

工作压力为 0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。


技术指标

平面度:< 0.05mm/m2

◆M6螺纹孔/孔间距 25X25mm
表面粗糙度:< 0.8μm
固有频率:X方向:1.0Hz~1.5HzY方向:1.0Hz~1.5Hz
减振效率:X方向< 5Hz :88%~94% Y方向<5Hz :86%~92%

            X方向<10Hz:92%~98% Y方向<10Hz:90%~95% 

振幅:< 1μm 

荷载能力:800kg/m2 

重复定位精度:±0.05mm 

 

产品型号:(可根据客户要求定制不同尺寸)

 

型号

规格(mm

支撑数量

面板厚度

台面厚度

螺纹孔/孔距

ZI-QF-06-06

600x600x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-075-075

750x750x800

4

6mm

50mm

M6/25X25mm

ZI-QF-09-06

900x600x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-10-08

1000x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-08

1200x800x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-12-09

1200x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-09

1500x900x800

4

6mm

100mm

M6/25X25mm

ZI-QF-16-10

1600x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-15-12

1500x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-10

1800x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-18-12

1800x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-10

2000x1000x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-20-12

2000x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-24-12

2400x1200x800

4

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-12

3000x1200x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-30-15

3000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-35-15

3500x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-40-15

4000x1500x800

6

8mm

200mm

M6/25X25mm

ZI-QF-50-15

5000x1500x800

10

10mm

300mm

M6/25X25mm

ZI-QF-60-15

6000x1500x800

12

10mm

300mm

M6/25X25mm

 

实际安装案例:

To One气浮隔震光学平台安装案例1.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例2.pngTo One气浮隔震光学平台安装案例3.png


至一科技主动主动隔震系统,桌上型主动隔震台,桌上型被动隔震台,桌上型气浮隔震台,被动减震器......

广泛应用于电子显微镜、显微镜、半导体设备(光刻机、晶圆测试仪)、激光设备、原子力显微镜、干涉仪、轮廓仪等等

ArisMD主动隔震系统安装案例.png
图1:ArisMD主动隔震系统安装案例(主要应用于电子显微镜、半导体设备)
ArisTT主动隔震台安装案例.png
图2:ArisTT主动隔震台安装案例(主要应用于AFM、干涉仪、桌上型电镜)
SotoTT被动隔震台安装案例.png
图3:SotoTT被动隔震台安装案例(主要应用于显微镜、电子天平、激光设备、半导体测试测试设备)

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