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扫描电子显微镜SEM专用主动隔振台

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名称:扫描电子显微镜SEM主动隔振台
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扫描电子显微镜SEM专用主动隔振台

KNS ArisMD主动隔振台


简介:专为扫描电子显微镜设计的主动隔振台,由多个ArisMD主动隔振模块构成,独立模块,分布式控制。


用途:用于消除或降低地表附近震动源产生的震动,从而消除或减少由于地表震动(包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入SEM扫描电子显微镜而引起的震动干扰,保证扫描电子显微镜SEM的运行环境和工作状态。


技术规格:

主动隔振频率:0.5~100Hz

主动隔振自由度: 6个自由度

震动响应时间:<=0.1Sec

隔振性能:8dB gain on 1Hz (60%~70% @ 1Hz); 20dB gain on 2Hz(>=90% @ 2Hz)

主动隔振模块尺寸:230mmX270mmX75mm

承载重量:由主动隔振模块数量决定


主要优势:

高性能,低成本

结构紧凑,安装简易,可直接集成到扫描电镜底部框架

安装成本低,安装时间短(3~5h),安装后无需再调校扫描电子显微镜

独有的实时性能检查工具、实时性能调整工具

独有的远程服务工具


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